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展會上EDWARDS展示領先的ope電競設備

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展會上EDWARDS展示領先的ope電競設備

發布日期:2019-07-23 作者:熙日ope電競 點擊:

全球領先的ope電競設備和尾氣處理係統製造商及相應增值服務供應商Edwards公司將在3月18-20日於上海新國際博覽ope電競(Shanghai New International Expo Centre,SNIEC)舉辦的SEMICON China展會上展示一係列高性能ope電競泵,包括最近推出的STP-iXA4506大容量(large-capacity)渦輪分子泵(turbomolecular pump,TMP)。對於目前世界最大的半導體集成電路市場,SEMICON China展會是設備製造商展示其產品和技術的重要活動。
  
  Edwards公司總部設在英國,擁有完善成熟的全球品牌。Edwards公司ope電競和尾氣處理技術致力於在整個半導體製造領域中減少汙染、降低能耗和運營成本,這些領域包括LED、太陽能光伏(solar PV)和平板顯示(flat-panel display,FPD)等。
  
  Edwards全球市場半導體行業經理Maiku Boger表示:“中國的半導體行業繼續表現出強勁增長,尤其是受到國內生產的推動。中國的戰略目標包括新能源和環境的可持續性,因此,太陽能光伏(PV)、FPD和化合物半導體等都屬於中國非常具有競爭力的廣泛工業領域。Edwards公司的ope電競和尾氣處理係統是滿足這個巨大市場供應鏈的絕對核心,從2005年開始,業界公認中國已經是世界最大的半導體芯片市場。”
  
  Edwards的ope電競和尾氣處理係統緩解了一係列環境威脅,例如半導體生產工藝中產生的酸性和腐蝕性氣體,Edwards可幫助用戶實現碳排放為負值(carbon-negative)。Edwards通過一係列創新但已經過驗證的泵和係統來提供高能效解決方案,所有這些方案都僅需要相對較低的資本投入和維護成本。
  
  Edwards在中國的主要目標就是按照客戶的特定要求來提供定製的ope電競解決方案和增值服務,以便幫助他們應對在先進工藝和設備製造中遇到的挑戰。Edwards能夠在需要尾氣處理的場合提供“交鑰匙”係統方案。
  
  Edwards將在上海展會展示新型STP-iXA4506大容量(large-capacity)渦輪分子泵(turbomolecular pump,TMP),該新發布的產品經專門設計為成本敏感的半導體、FPD、LED和太陽能電池板製造商節省投資。STP-iXA4506具有高速度(4300 l/s N2)和高排氣量(高達4300 sccm N2),並且結合了高效抽吸輕、重氣體的能力,因而成為廣泛的大容量、高流量應用的理想選擇,這些應用包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能物理氣相沉積(physical-vapour deposition,PVD)和PVD鍍膜。
  
  Edwards在展位上展出的其它產品包括iH600、iXM1200 / 1800、STP iXA3306和 iXH645H:
  
  iH600幹泵為PECVD和LPCVD等複雜困難工藝提供了高可靠性,這些工藝存在著粉塵顆粒、易冷凝和腐蝕性副產品。
  
  iXM1200 / iXM1800是Edwards公司首次在中國展出的優化節能型設備,具有超低功率輸入。它還具有同類最佳的粉體處理和耐腐蝕性,達到最高可靠性並延長泵的使用壽命。
  
  STP-iXA3306磁浮式渦輪分子泵帶有完全集成的板載控製器,無需泵和控製單元之間使用連接電纜。它還消除了安裝空間和成本,上述附件是傳統分體式(rack-type)控製單元所需要的。
  
  iXH645H幹泵已針對MOCVD工藝進行了優化,該工藝用於LED製造和其它形式的化合物半導體生產。iXH泵的先進技術可使維護需求最小化並使泵的運行時間最大化,幫助降低運營成本。

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